웨지 시료로 코팅 두께 확인하기

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증착 중에 코팅된 광학 부품 옆에 쐐기형 증표 샘플을 배치한 다음 투과 스펙트럼을 측정하여 생산 부품을 손상시키지 않고 코팅 두께를 확인합니다.

단계별: 쐐기형 증표 샘플로 코팅 두께 확인

1. 1. 증표 샘플을 챔버에 로드합니다: 쐐기형 증표 샘플을 생산 광학 부품 옆에 있는 홀더에 놓습니다. 연마면이 깨끗하고 쐐기면이 코팅 소스를 향하도록 합니다. 추적성을 위해 샘플의 용융 로트 번호를 기록합니다. 일반적인 실수: 샘플을 거꾸로 로드하면(쐐기면이 소스에서 멀어짐) 코팅 두께 구배가 이동할 수 있습니다.
2. 2. 코팅 증착 사이클을 실행합니다: 계획대로 코팅을 증착합니다. 쐐기형 증표 샘플은 올바르게 배치되면 근처 광학 부품과 동일한 코팅 두께를 받습니다. 실시간 두께 피드백을 위해 석영 수정 모니터를 사용하여 프로세스를 모니터링합니다. 확인점: 증표 샘플이 생산 부품과 소스로부터 동일한 반경 거리에 있는지 확인하여 동일한 증착 속도를 보장합니다.
3. 3. 투과 스펙트럼을 측정합니다: 증착 후 증표 샘플을 제거하고 분광 광도계에 넣습니다. 관심 파장 범위에 걸쳐 투과 스펙트럼을 스캔합니다. 쐐기 설계는 간섭 무늬를 방지하므로 스펙트럼이 깨끗하고 분석 준비가 됩니다. 일반적인 실수: 소프트웨어에 쐐기 각도(8°)를 입력하는 것을 잊어버리는 경우. 이로 인해 계산된 두께에 체계적인 오차가 발생할 수 있습니다.
4. 4. 측정된 스펙트럼을 설계 목표와 비교합니다: 코팅 설계 소프트웨어를 사용하여 측정된 투과 곡선을 목표 두께에 대한 이론 곡선과 비교합니다. 곡선이 일치할 때까지 모델링된 두께를 조정합니다. 차이는 실제 코팅 두께 편차를 알려줍니다. 확인점: 편차가 허용 오차를 초과하면 다음 실행을 위해 증착 시간 또는 속도를 조정합니다. 공정 제어를 위해 수정 사항을 문서화합니다.

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• 투과 쐐기형 증표 샘플: 양면 정밀 연마, 스크래치-딕 60-40, 평탄도 < 1 파 @ 633nm에서 80% CA, 평행도 < 1 아크 분. 높은 표면 품질은 측정된 투과 스펙트럼이 산란 또는 표면 결함이 아닌 코팅에 의해 지배되도록 하여 신뢰할 수 있는 두께 판독값을 제공합니다.