ウェッジサンプルで膜厚を確認する方法

クイックアンサー

成膜中にウェッジ型モニターサンプルをコーティング済み光学部品の隣に配置し、その透過スペクトルを測定することで、生産部品を傷つけることなくコーティング厚を検証できます。

ステップバイステップ：ウェッジ型モニターサンプルによるコーティング厚チェック

1. 1. モニターサンプルをチャンバーにセットする： ウェッジ型モニターサンプルを生産用光学部品の隣のホルダーに置きます。研磨面が清潔であること、ウェッジ面がコーティング源の方を向いていることを確認してください。トレーサビリティのためにサンプルの溶融ロット番号を記録します。 よくある間違い：サンプルを逆にセットすると（ウェッジ面がソースと反対向き）、コーティング厚の勾配がずれる可能性があります。
2. 2. コーティング蒸着サイクルを実行する： 計画通りにコーティングを蒸着します。ウェッジ型モニターサンプルは、正しく配置されていれば、近くの光学部品と同じコーティング厚になります。水晶振動子モニターを使用してプロセスを監視し、リアルタイムの厚さフィードバックを得ます。 チェックポイント：モニターサンプルがソースから生産部品と同じ半径距離にあることを確認し、均等な蒸着速度を確保します。
3. 3. 透過スペクトルを測定する： 蒸着後、モニターサンプルを取り外し、分光光度計にセットします。関心のある波長範囲で透過スペクトルをスキャンします。ウェッジ設計により干渉縞が防止されるため、スペクトルはクリーンで分析の準備が整っています。 よくある間違い：ソフトウェアにウェッジ角（8°）を入力し忘れること。これにより、計算された厚さに系統的なずれが生じる可能性があります。
4. 4. 測定スペクトルを設計目標と比較する： コーティング設計ソフトウェアを使用して、測定された透過曲線を目標厚さの理論曲線と比較します。曲線が一致するまでモデル化された厚さを調整します。その差が実際のコーティング厚の偏差を示します。 チェックポイント：偏差が許容範囲を超える場合は、次のランで蒸着時間またはレートを調整します。プロセス管理のために補正を記録します。

推奨製品

• 透過用ウェッジ型モニターサンプル: 両面をスクラッチディグ60-40、平面度< 1波長@ 633nm（80% CA）、平行度< 1分で精密研磨されています。高い表面品質により、測定される透過スペクトルは散乱や表面欠陥ではなくコーティングによって支配され、信頼性の高い厚さ測定が可能です。